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용어(한글) 이온플레이팅
용어(영문) ion plating 작성일 2017-01-16 09:23:09
키워드 이온플레이팅 등록자 admin

admin 2017-01-16 09:23:09

추천 : 0

이온플레이팅[ion plating]
피처리물 표면에 피막을 형성시키는 물리증착피복법(PVD법)의 일종. 진공이나 방전을 이용하는 방법 또는 기상(氣相)의 분해에 의한 방법 등의 물리적 방법이 있다. 희박Ar가스 중에서 Ar＋이온의 글로방전으로 피처리물 표면을 청정하게 한 후 가열증발시킨 금속증기에 Ar＋를 충돌시키고, 금속을 이온화하여 이 활성상태에서 피처리물(기판)에 충돌, 증착시킨다.
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