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admin

2017-01-16 09:21:53

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이온빔가공[ion beam processing]

가속한 이온빔을 물질에 충돌시켜 원자레벨을 미세가공하는 기술로서 통상 이온주입 및 이온빔에칭을 가리키는데, 광의로는 이온빔믹싱 등도 포함된다.

① 이온주입 첨가하고자 하는 원소를 이온화하고 일정한 에너지에 가속하여 재료 내부에 집중시키는 방법으로, 종래의 열확산법에 의한 원소첨가법에 비해 주입이온과 주입시료의 조합이 임의, 질량분리에 의한 주입원소의 고순도 등의 이점이 있으나, 수십keV 이상으로 가속한 이온을 주입하기 위해 시료 내에 다수의 조사결함이 도입되는 결점이 있다. 이 방법은 반도체 제작시 불순물원소의 도핑에 실용화되고 있는 것 외에, 금속재료의 표면개질(내마모성, 내산화성 등)으로의 적용이 검토되고 있다.