2차이온질량분석법[secondary ion mass
spectrometry, SIMS]
SIMS, IMMA 또는 IMA로 약칭된다. 대형표면분석장치의 하나로 1970년대 후반부터 보급되었다. 고진공 중에서 고체시료 표면에 이온을 조사하고 방출되는 2차이온을 질량분석한다. 표면원소를 비교적 고감도로 분류할 수 있다. 최신의 장치에서는 최소분석스폿경 1μm, 아온조사를 반복함으로써 깊이 방향의 분석이 가능하다. 표면의 동위원소에 대한 분석도 가능하다.
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