오제전자분광법[Auger electron spectroscopy, AES]
AES로 약칭된다. 대형표면분석장치의 하나로 1970년대 후반부터 보급되었다. 고진공 속에서 고체시료 표면에 전자선을 조사하고 방출되는 오제전자의 스펙트럼을 측정한다. 표면원소(Li이상)를 비교적 고감도 고정밀도로 분석할 수 있다. 최근의 장치에서는 최소분석스폿경 10nm으로 깊이 수nm까지 분석할 수 있고, 주사형(走査型)의 장치도 있다. 이온총과 조합됨으로써 깊이 방향의 분석도 가능하다.
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