¿ÀÁ¦ÀüÀںб¤¹ý[Auger electron spectroscopy, AES]
AES·Î ¾àĪµÈ´Ù. ´ëÇüÇ¥¸éºÐ¼®ÀåÄ¡ÀÇ Çϳª·Î 1970³â´ë ÈĹݺÎÅÍ º¸±ÞµÇ¾ú´Ù. °íÁø°ø ¼Ó¿¡¼ °íü½Ã·á Ç¥¸é¿¡ ÀüÀÚ¼±À» Á¶»çÇÏ°í ¹æÃâµÇ´Â ¿ÀÁ¦ÀüÀÚÀÇ ½ºÆåÆ®·³À» ÃøÁ¤ÇÑ´Ù. Ç¥¸é¿ø¼Ò(LiÀÌ»ó)¸¦ ºñ±³Àû °í°¨µµ °íÁ¤¹Ðµµ·Î ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÃÖ±ÙÀÇ ÀåÄ¡¿¡¼´Â ÃּҺм®½ºÆý°æ 10nmÀ¸·Î ±íÀÌ ¼önm±îÁö ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ÁÖ»çÇü(ñËÞÛúþ)ÀÇ ÀåÄ¡µµ ÀÖ´Ù. ÀÌ¿ÂÃÑ°ú Á¶ÇÕµÊÀ¸·Î½á ±íÀÌ ¹æÇâÀÇ ºÐ¼®µµ °¡´ÉÇÏ´Ù.