아톰프로브전기장이온현미경[atom probe
field ion microscopy, APFIM]
전기장이온현미경의 침상시료(針狀試料) 선단부분 원자 1개 1개의 원소를 아는 분석수단. 침상시료의 방향을 변경시킬 수 있는 홀더에 설치하고 분석위치를 정하여 스크린 중앙으로 가지고 온다. 인가(印加)하고 있는 고전압을 펄스적으로 높게 하면 그 원자가 증발한다(전기장증발). 스크인 중앙에 뚫린 구멍(프로브홀)에서 나온 전자를 질량분석(비행시간법)한다. 극미 소부분의 깊이 방향의 분석이나 위치적 변화의 분석이 가능하다.
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