러더퍼드후방산란분광법[Rutherford backscattering spectrometry, RBS]
RBS로 약칭된다. 이 방법이 처음 실용된 것은 1967년 Surveor V에 의한 달 표면의 분석으로 전해지고 있다. 시료 표면에 고속이온을 조사하고, 후방(입사이온의 방향에 대해 반대)에 튀어서 돌아오는 이온의 에너지와 개수를 검출함으로써, 시료를 구성하는 원소의 조성과 표면에서 깊이 방향의 분포를 아는 방법이다. 원소조성분석의 정확도가 높은 것, 비파괴로 깊이방향 분석이 가능한 것, 분석시간이 비교적 짧은 것 등이 특징으로 들 수 있다. 상기 이온의 조사는 이온가속기를 사용하므로 그 유지관리가 필요하다. Si기판 등의 분석에 사용된다.
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