´Ù°áÁ¤½Ç¸®ÄÜ[polycrystalline silicon]
¹ÝµµÃ¼¿ë½Ç¸®ÄÜÀ» ´Ü°áÁ¤À¸·Î Çϱâ ÀüÀÇ ¿ø·á°¡ µÇ´Â ÃÊ°í¼øµµ½Ç¸®ÄÜÀ» ÀǹÌ. ÇöÀç ´ëºÎºÐÀÌ Æ®¸®Å¬·Î·Î½Ç¶õ(SiHCl3)À» °æÀ¯ÇÏ´Â Áö¸à½ºC¹ýÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁö°í ÀÖ´Ù. ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4)À» °í¼øÈÇÏ¿© ¸¸µå´Â ¹æ¹ýµµ ÀÖ´Ù. ¾î´À °ÍÀ̳ª ¸·´ë ¸ð¾çÀÇ ½Ç¸®ÄÜÀ» Á¦Á¶ÇÑ´Ù. ¶Ç ¼Ò·® ºñ·áÁ¦Á¶ Ç÷£Æ®ÀÇ ºÎ»ê¹°¿¡¼ À¯µ¿»ó(×µÔÑßÉ) ȯ¿øÀ» ÇÏ´Â ¿¡Æ¿¹ýÀ¸·Î ÀÔ»ó(í£ßÒ)´Ù°áÁ¤½Ç¸®ÄÜÀ» Á¦Á¶ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿¬¼Ó°ø±Þ µîÀ̶ó´Â Ãë±Þ»ó ¿ëÀÌÇÔÀÌ ÀÖÀ¸³ª ±×´ÙÁö »ç¿ëµÇ°í ÀÖÁö ¾Ê´Ù.