ÃÊÀ½ÆÄ°¡°ø[ultrasonic machining]
°ø±¸¸¦ Áøµ¿½ÃÄѼ ´Ü´ÜÇÏ°í ¹«¸¥ Àç·áÀÇ Ç¥¸é¿¡ Ãæ°ÝÀûÀÎ ÈûÀ» ÁÖ¾î¼ ¹Ì¼ÒÇÑ ºÐ¼â¸¦ ÀÏÀ¸Å°¸é¼ °¡°øÇÏ´Â ¹æ¹ý. Áøµ¿¿¡´Â 15¢¦40kHzÀÇ ÃÊÀ½ÆÄÁøµ¿ÀÌ Àû¿ëµÇ°í, °ø±¸¿Í °øÀÛ¹° »çÀÌ¿¡ ¹°·Î È¥ÇÕÇÑ ¼ýµ¹ÀÔÀÚ¸¦ °³Àç½ÃÅ°¸é, Ãæ°ÝÀûÀÎ ÈûÀÌ ºÎ°¡µÇ¾î È¿À² ÁÁÀº °øÀÛ¹° Ç¥¸éÀÌ ÆļâµÈ´Ù(±×¸²1).
°¡°øÀÇ ÁøÇà°ú ÇÔ²² °ø±¸¸¦ ÃßÁ¾½ÃÅ´À¸·Î½á °ø±¸ Çü»óÀ» °øÀÛ¹° Ç¥¸é¿¡ Àü»ç(ï®ÞÐ)½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ °æ¿ì °ø±¸´Â ¸¶¸ð°¡ Àû°í ´Ü´ÜÇÑ ÀçÁú·Î Á¦ÀÛÇÒ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù. ¶Ç Áøµ¿¿¡ µû¶ó ¼öÁß¿¡´Â ijºñÅ×À̼ÇÀÌ ¹ß»ýÇϹǷÎ, ¼ýµ¹ÀÔÀÚÀÇ °ø±ÞÀ̳ª ÆļâµÈ ¼ýµ¹ÀÔÀÚ ¶Ç´Â °¡°øºÎ½º·¯±âÀÇ ¹èÃâÀÌ È°¹ßÈ÷ ÀÌ·ç¾îÁö°í °¡°øÀÌ ¿øÈ°ÇÏ°Ô ÁøÇàÇÑ´Ù.
ÃÊÀ½ÆÄ´Â Áøµ¿¼ö°¡ 15kHz ÀÌ»óÀ¸·Î ¼Ò¸®·Î¼ ±Í¿¡ µé¸± ¼ö ¾ø´Â À½Æĸ¦ ¸»ÇÑ´Ù. ÀÌ ÃÊÀ½Æĸ¦ ÀÌ¿ëÇÑ °¡°øÀÌ ÃÊÀ½ÆÄ°¡°øÀ¸·Î¼ ¼öÁ¤Áøµ¿ÀÚ³ª ¾ÐÀü¼¼¶ó¹Í½º¿¡ °íÁÖÆÄ Àü¾ÐÀ» °¡ÇÔÀ¸·Î½á ¹ß»ý½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù.
°¡°ø½Ã¿¡´Â °ø±¸ Ç¥¸é¿¡ 10¢¦40¥ìm Á¤µµÀÇ Áøµ¿º¯À§¸¦ ¹ß»ý½ÃÅ°´Â °ÍÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ±×·¯³ª Áøµ¿ÀÚÀÇ ÁøÆøÀº ¼ö¥ìm ÀÌÇÏÀÌ°í, ±× ¶§¹®¿¡ Áøµ¿ÀÚ¿Í °ø±¸ »çÀÌ¿¡ È¥(horn)À» ³¢¿ö¼ Áøµ¿ÀÚÀÇ ÁøÆøÀ» Áõ´ë½ÃÅ°´Â °ÍÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
È¥¿¡´Â ÄÚ´ÏÄÃÇü, ÀͽºÆ÷³Í¼ÈÇü, ½ºÅÜÇüÀÌ ÀÖ´Ù(±×¸²2). ¼ýµ¹ÀÔÀÚ¿¡´Â 5¢¦150¥ìmÀÎ B4C, SiC, Al2O3, ´ÙÀ̾Ƹóµå µîÀÌ °øÀÛ¹°¿¡ µû¶ó »ç¿ëµÇ°í, °¡°ø¹ýÀº 100¢¦600kPaÀÌ´Ù. ÃÊÀ½ÆÄ°¡°øÀº À¯¸®³ª ·çºñ, ¼öÁ¤, ¼¼¶ó¹Í½º¹ÝµµÃ¼ µîÀÇ ±¸¸Û¶Õ±â³ª Á¶°¢ µî¿¡ Àû¿ëµÈ´Ù.
ÃÊÀ½ÆÄ´Â °¢Á¾ÀÇ °¡°ø¿¡ ºÎ°¡ÇÏ¿© »ç¿ëµÈ´Ù. ÃÊÀ½ÆÄ¿ëÁ¢Àº ¼¼¼±(á¬àÊ)À̳ª ÆÄÀÌÇÁ¸¦ ¿ëÁ¢ÇÒ ¶§ ¸¶Âû¿À» »ý¼º½ÃÅ°°í °¢°¢À» °øÀÛ¹°¿¡ ¾ÐÁ¢½ÃÅ°´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð½ºÀÇ ¸®µå¼± µîÀÇ ¿ëÁ¢¿¡ ÀÌ¿ëµÈ´Ù.
Àý»è¿¡ ÃÊÀ½Æĸ¦ Áßø½ÃŲ ÃÊÀ½ÆÄÀý»èÀº ¹ÙÀÌÆ®¸¦ ÃÊÀ½ÆÄ Áøµ¿½ÃÅ´À¸·Î½á °æ»ç¸éÀÇ ¸¶¸ð°¡ °¨¼ÒÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î, Àý»è·ÂÀÌ °æ°¨ÇÏ°í ¸¶°¨¸é °ÅÄ¥±â°¡ Çâ»óµÈ´Ù.
ÆÝĪ µî¿¡ ÃÊÀ½Æĸ¦ Áßø½ÃŲ ÃÊÀ½ÆÄÆÝĪµµ Àü´Ü·ÂÀÌ ÀúÇÏÇÏ¿© ¹«¸¥ Àç·áÀÇ ÆÝĪÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.