초고압전자현미경[high-voltage electron
microscope]
500kV 이상의 초고전압에서 전자선을 가속하고 박편 시료를 투과 관찰하는 초고분해능의 전자현미경. 초고압으로 가속된 전자파는 조밀한 격자면으로, 조밀한 원자배열일수록 그에 따른 1개의 전자처럼 진행(전자채널링)하므로 결정 내의 원자배열을 직시하거나, 또 종래의 저전압현(顯)보다 수십배나 두꺼운 시료가 재료 본래의 성질을 잃지 않는 상태에서 관찰할 수 있게 되었다. 이들의 장치와 전자선기법, 이론은 대부분이 일본에서 개발되었다.
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