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admin

2017-01-16 11:21:20

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주사형전자현미경[scanning electron microscope, SEM]

시료의 확대관찰에는 지금까지 광학현미경이 사용되는 경우가 많았다. 광학현미경이 광자의 흐름인 광선을 이용하는 것처럼, 전자현미경에서는 전자의 흐름인 전자선을 이용하여 광학렌즈 대신에 전자렌즈를 사용한다. 상부에 있는 전자총 내의 필라멘트에 전압을 걸어서 전자선을 조사한다. 이 전자선을 가속하고 전자렌즈에 의해 좁혀서 시료표면을 주사(走査)한다. 주사결과 시료 표면에 발생하는 2차전자, 반사전자 등을 검출하고 전기적으로 처리하여 시료 표면에 위치를 부여함으로써 브라운관상에 확대표시한다.

시료는 통상 수지 등의 속에 묻히고 거울면까지 연마하여 탄소 등을 증착한 후 관찰한다. 또 통상의 장치에는 에너지분산형 X선마이크로애널리시스가 부설되어 있고, 동시에 표면에서 발생하는 특성X선을 검출하여 대상관찰물의 원소분석을 실시할 수 있다. 통상 10만배까지의 관찰이 가능하고 초점 심도(深度)가 커서 입체감이 있는 화상이 얻어진다. 최근 조작이 쉽고 장치는 염가이므로 연구뿐만이 아니라 검사분야에도 보급되고 있다.