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admin

2017-01-16 11:17:51

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존멜팅[zone melting]

재료의 정제법 및 단결정작제법의 하나. 대역용융법이라고도 한다. 가늘고 긴 재료의 일단(一端)에서 좁은 범위만을 녹는점 이상으로 가열하고, 그 녹은 부분을 서서히 타단(他端)까지 이동시킨다. 그 재료에 포함되는 불순물의 편석계수(고상농도/액상농도)가 1보다 작은 경우에는 불순물이 용융 부분에 농축되고, 조작을 반복함으로써 재료에 포함되어 있던 불순물을 타단에 긁어모을 수 있으며, 재료의 대부분을 고순도화하여 얻는다. 또 개시점에 특정 방위의 단결정을 놓고 같은 조작을 하면 전체로서 그 방위를 가진 단결정이 얻어진다.

존멜팅은 가늘고 긴 보트를 이용하여 횡형에서도 이룰 수 있고, 보트의 형상의존성이나 그들 불순물의 혼입을 피하고자 하는 경우에는 용탕의 표면장력을 이용하여 보트나 도가니 없이 종형으로도 할 수 있다(이것을 플로팅존법이라고 함).

현재의 일렉트로닉스 또는 디지털기술을 지지하는 고순도실리콘 단결정 제작의 기본기술(☞반도체실리콘)이다.