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admin

2017-01-16 11:00:14

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전자현미경[electron microscope]

광학현미경이 광선을 이용하는 것처럼, 전자의 흐름인 전자선을 이용하여 광학렌즈 대신에 전자렌즈(전자선이 자기로 굽어지는 성질을 이용)를 사용하여 확대관찰하는 현미경. 시료를 진공 속에서 넣어 전자선을 조사하면 투과전자, 2차전자, 반사전자, 특성X선 등이 발생하고 시료전류가 흐른다. 시료가 얇은 경우에 전자선은 쉽게 투과한다. 투과형전자현미경은 이것을 이용한다. 이것에 대해 시료표면에서 발생하는 2차전자나 반사전자를 이용하여 표면을 관찰하는 것을 주사형전자현미경이라고 한다. 현재 전자현미경은 단순히 확대관찰하는 것만이 아니라 동시에 관찰하고 있는 대상을 병설하고 있는 분석기기도 분석할 수 있다. 이 분석기기를 병설한 전자현미경을 분석전자현미경이라고 한다. 분석기기로서는 에너지분산형 X선마이크로애널라이저가 가장 일반적으로, 조사전자선을 스캐닝하는 등에 따라 원소분석 측정도 실시되고 있는데 파장분산형 X선마이크로애널라이저, 에너지손실분석기(경원소분석에 적합) 등도 사용되는 경우가 있다. 현재 범용적인 전자현미경은 주사형전자현미경으로 실리콘웨이퍼 등의 결함검사 등에 널리 쓰이고 있고, 또 진공용에서도 관찰분석이 가능하여 얼음 결정의 관찰도 이루어졌다. 투과형전자현미경에서는 초고압이 적용되어 비교적 두꺼운 시료를 고배율로 관찰할 수 있다.