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admin

2017-01-16 10:59:05

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전자빔가공[electron beam processing]

고에너지입자원인 전자(일렉트론)빔을 이용하여 금속을 중심으로 한 재료를 가공하는 방법의 총칭. 고진공 하에서 전자총에 고전압을 걸어 전자총에서 발사된 광속도의 1/2 정도로 가속한 전자를 빔 모양으로 하고, 이것을 재료에 충돌시켜서 하는 가공법. 전자 운동에너지의 대부분은 열에너지로 변환되므로 피가공물의 온도는 현저하게 상승시킬 수 있고, 조건에 따라 녹는점은 물론 끓는점을 넘겨서 증발시킬 수 있다. 펀칭가공, 절단, 용접, 용해, 증착 등에 이용되고 있다. 전자빔의 조사위치․크기․강도를 정확히 제어할 수 있으므로 미세가공도 가능하다. 예를들면 수μm 정도의 구멍뚫기나 미세한 슬릿가공에 이용되고 있다. 조사에너지 밀도가 높고 고융점재료의 가공이 가능하며, 도전재료만이 아닌 비도전재료에도 가공할 수 있다. 진공 속에서 가공하기 때문에 피가공물의 표면오염이 적은 특징을 가지지만, 반면 진공 내의 조작이 필수적이기 때문에 고가․취급이 불편하다는 등이 문제점도 있다. 절단․용접분야에서는 용입이 깊고 고품질인 것에 적용되고 있다. 또 고온․고진공을 활용하여 Ti, Zr, Ta, Nb, Mo 등 활성인 고융점금속의 용해 및 정련에 적합하다. 더욱이 증기압이 높은 불순물원소 및 가스성분의 제거에 우수하므로 조금속을 재용해하여 정제할 때에도 사용되고 있다. 전자빔의 충돌형식 및 용해금속의 이동형식에 따라 플로팅보트용해․적하용해․일류(溢流)용해 등으로 분류되고, 수냉구리주형에 응고시켜서 주괴를 얻고 있다.