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업데이트 날짜 : 2016 년 12 월 2 일 (처음 게시)
저자 : 원래 토카이 대학 공학부 정밀 공학과 교수 暢男

1. 연마 가공에 사용되는 공구

유리 연마 가공에서 공작물 표면에 다수의 연마를 공간적으로도 시간적으로도 균일하고 안정 작용시킬 필요합니다. 따라서 워크에 대한 압력 매체로도 형상 전사 기준으로 공구의 선정은 매우 중요합니다.

공구는 포장에서는 랩 (또는 랩 정반), 정책은 뽀리샤 (또는 연마 천)이라고합니다. 다음에, 랩 용 및 뽀리샤 공구 재료의 대표적인 예입니다 ( 표 1 ).

표 1 : 대표적인 노트북 용 및 뽀리샤 용 재료 (인용 : 하서 토시오 기계 및 공구 1992 년 日本工業出版 공사, P.133)

분류		대상 재료	적용 예
라 스타 프	금속	주철, 탄소강, 공구강	일반 재료의 포장 다이아몬드 폴리싱
라 스타 프	비금속	유리, 세라믹	화합물 반도체 재료의 포장
포트 리 시 충전기	연질 금속	주석 Sn, 납 Pb, 인듐 In, 구리 Cu 솔더	페라이트 폴리싱 세라믹 폴리싱
	천연 수지	피치, 나무 타르, 밀랍, 파라핀, 송진, 판매 랙	광학 유리 폴리싱 광학 결정의 치안
	합성 수지	경질 발포 폴리 우레탄, PMMA (아크릴 수지), 테플론, 폴리 카보네이트, 폴리 염화 비닐, 우레탄 고무	광학 유리 폴리싱 일반 재료의 치안
	천연 가죽	사슴 가죽	금속 폴리싱
	인조 가죽	연질 발포 폴리 우레탄, 불소 수지 발포체	실리콘 웨이퍼 폴리싱 화합물 반도체 재료의 치안
	섬유	부직포 (펠트 등), 직물 (나일론,면 등), 종이	금속 재료의 치안 일반 재료의 치안
	목재	오동 나무 박 유	금속 금형 폴리싱

랩

포장 공구 인 랩에는 높은 치수 정밀도와 형상 정밀도가 요구됩니다. 또한 다음과 같은 특성이 요구됩니다.

연마 유지 능력이 높은 것으로
착용하기 어렵고, 형상 정밀도를 장기간 유지할 수
부하 및 자중에 의한 변형이 작다
재질이 균일하고 경도의 변화가 없음
스크래치 등 상처의 발생 요인이되는 결함이나 불순물이 없음

랩 재료의 구체적인 예로는 경질 금속 (철과 강철)와 무기 재료 (세라믹이나 유리)를들 수 있습니다. 특히 주철 (주로 구상 흑연 주철)은 착용하기 어렵고 연마 유지력도 높기 때문에, 안정된 가공 성능을 지속 할 수 있습니다. 따라서 실리콘 웨이퍼 등 정밀 부품 용 랩으로 가장 일반적으로 사용되고 있습니다. 한편, 경면에 가까운 정밀 포장을 기대하는 경우에는 연질 금속 인 구리와 황동 등의 재료가 활성화되어 있습니다.

노트북 표면에는 폭, 깊이 함께 1 ~ 2mm 정도의 홈 (톱니)를 10 ~ 20mm 피치로 붙여 사용하는 것이 일반적입니다. 이 홈은 연마 마리가되어 효율적이고 균일 한 포장 작용을 촉진하는 동시에 칩의 배출 홈으로 역할도합니다. 홈의 형상은 격자 형, 나선형, 방사형 등이 있습니다.

뽀리샤

치안의 목적은 표면 거칠기를 작게 경면 화하는 것입니다. 또한 필요에 따라 가공 변질 층을 제거합니다. 폴리싱 용 뽀리샤 다음과 같은 특성이 요구됩니다.

입자 크기에 차이가있는 연마에 압력을 균형 화 점탄성 적 변형 특성을 가질 수
인연 양념, 사이 오목 울지 볼록 등 전체 형상의 열화를 일으키지 않는 강성을 가질
연마 워크의 계면에서 균일하게 분포하고 안정된 회전 동작에 가능해진다 같은 보풀 또는 미세 공극 (감격)가 있음
마모 · 마모 어렵고, 장수명임을

그러나 이러한 모든 요건을 동시에 충족 뽀리샤를 찾아내는 것은 어렵고, 필요에 따라 최적의 뽀리샤을 선택하는 것이 중요합니다. 일반적으로, 랩처럼 딱딱하게 작업을 긁어 쉬운 소재를 피하고 부드러운에서 탄력 쉬운 소재를 사용합니다.

이전에는 피치와 타르, 송진 등의 천연 수지가 사용되고있었습니다. 최근에는 합성 수지 및 섬유, 합성 피혁이 주류를 이루고 있습니다. 예외적으로 다이아몬드 나 세라믹 등의 초 경질 소재의 치안은 탄성 변형하기 어려운 연질 금속을 사용할 수 있습니다.

전자 부품 중에서도 실리콘 웨이퍼는 가장 엄격한 연마 정밀도가 요구됩니다. 그림 1 에 실리콘 웨이퍼 폴리싱에 많이 사용되는 뽀리샤의 표면 및 단면 사진을 보여줍니다.

그림 1 : 실리콘 웨이퍼 용 뽀리샤의 SEM 사진 (인용 : 로데루닛타 (현 닛타 하스) 社 카탈로그)