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| 원소분석범위 |
Na11 - U92 |
| 시료측정타입 |
고체, 분말, 액체 |
| 검출한계 |
1ppm -99.99% |
| 검출기 |
UHRD (No LN2) |
| 냉각방식 |
Peltier Electro-Cooled |
| 분해능 |
125eV UHRD (SNE) |
| 측정시간 |
30 - 200sec |
| X선관 |
Rh, W, Ag, Ti |
| X선전압 |
5 - 50kV |
| X선전류 |
50 - 1mA |
| X선조사경 |
Multi-Hybrid 8 SET |
| X선필터 |
Multi-Hybrid 6 SET |
| 정확도 |
0.05% (Above 96%) |
| 시료실 |
Auto- High resolution CCD Camera, X-Y Stage,
Up-Down |
| 분위기 |
Air, Vacuum, He purge |
| 응용범위 |
RoHS, Halogen Free, Industry |
| 도금두께측정 |
11 Layers |
| 메인전압 |
220V/60HZ/1PH |
| 무게 |
150KG | |
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