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용어(한글) 기상성장
용어(영문) vapor phase growth 작성일 2016-12-28 06:47:32
키워드 기상성장 등록자 admin

admin 2016-12-28 06:47:32

추천 : 0

기상성장[vapor phase growth]
 
물질을 가스상(기상)으로 하여 이동시켜서 기판(substrate) 위에 결정성장시키는 방법으로, 녹는점보다 꽤 낮은 온도에서 성장이 이루어지기 때문에 결정성장에서 도입되기 쉬운 격자결함이 적은 장점이 있고 박막의 제조 등에 쓰이고 있다.
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