±â»ó¼ºÀå[vapor phase growth]
¹°ÁúÀ» °¡½º»ó(±â»ó)À¸·Î ÇÏ¿© À̵¿½ÃÄѼ ±âÆÇ(substrate) À§¿¡ °áÁ¤¼ºÀå½ÃÅ°´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î, ³ì´ÂÁ¡º¸´Ù ²Ï ³·Àº ¿Âµµ¿¡¼ ¼ºÀåÀÌ ÀÌ·ç¾îÁö±â ¶§¹®¿¡ °áÁ¤¼ºÀå¿¡¼ µµÀԵDZ⠽¬¿î °ÝÀÚ°áÇÔÀÌ ÀûÀº ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ°í ¹Ú¸·ÀÇ Á¦Á¶ µî¿¡ ¾²ÀÌ°í ÀÖ´Ù.