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admin

2017-01-16 12:36:42

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진공재료[vacuum materials]

진공을 만들어(발생시켜) 측정하고(계측하고) 사용하기 위해 쓰이는 재료는 구조용과 부품․기능용으로 대별된다. 진공기술에서 사용되는 재료의 역할을 그림에 나타내고 있다.

구조재료는 진공용기와 배관계 등에 사용된다. 저․중진공(＞10-1Pa)용으로는 강(鋼)이 일반적으로 쓰이고, 고․초고진공(＜10-1Pa)용으로는 스테인리스강(비자성인 오스테나이트계의 SUS304 등)이 사용되고 있다. 알루미늄합금도 최근 사용되고 있다. 진공게이지나 전구와 같은 소형시스템에는 유리도 사용된다.

부품․기능재료에는 진공관기술에서 개발된 각종의 재료가 쓰이고 있다. 금속재료로는 게터재료인 티탄이 초고진공을 만드는 스패터이온펌프에 이용되고, 고융점금속인 텅스텐, 몰리브덴, 탄탈은 높은 방사전류값이 얻어지므로 열음극재료로 쓰이고 있다. 이온펌프 등의 자석이나 자기실드재료로서 퍼멀로이나 뮤메탈 등이 사용되고 있다. 그 밖의 금속재료로는 경질유리와 같은 열팽창계수의 철-니켈-코발트합금이나 세라믹스와 접합할 수 있는 철-니켈-크롬합금 등의 봉착용합금을 들 수 있다. 진공 속에서 쓰이는 부품․기능재료로서 각종의 탄화물, 질화물, 붕소화물이 있다. 예를들면 열전자방사재료에 쓰이고 있는 란탄붕소화물(LaB6)은 텅스텐에 비해 휘도, 수명 모두 10배 이상의 성능이 얻어지고 있다. 그 밖의 무기재료로는 전기도입단자용 절연재나 전자기파의 도입창재에 알루미나, 용융석영 등의 세라믹스가 이용되고 있다.

유기재료에서는 진공펌프유(油)로서 각종의 광유, 합성유가 사용되고 있고, 실(seal)용이나 전기절연용 기능재료로서 각종의 엘라스토머와 플라스토머가 사용되고 있다.

합성계의 진공펌프유인 플루오르계의 퍼플루오로폴리에테르(폰블린의 등록상표명을 가짐)는 내식성이 있는 기름으로 산-알칼리-할로겐계가스, 하전가스, 방사선하에서도 안정하다.