ロボットからの発ガス，有機コンタミの発生を極限まで抑えました。
高真空プロセスでの真空引き時間の短縮と歩溜まりの向上を可能にします。

真空対応サーボモータによるダイレクト駆動と独自の制御により，高速・低振動の搬送を実現しました。

磁気式エンコーダの採用により，反応生成物の付着による誤動作の心配がありません。

アームを破損した場合，アームの取り外し交換が簡単なため，装置ダウンタイムを短縮できます。

絶対値エンコーダの採用により，電源投入時から即動作を開始します。
原点復帰不要のため，原点復帰時の干渉の心配もありません。

 

 

名称		MOTOMAN-RV740S6
搬送物		300mmウエハ
自由度		3軸（R，θ，Z）
動作形態		水平多関節形
動作範囲	伸縮（R軸）	1050mm（リーチ）
	旋回（θ軸）	360°（無限回転）
	昇降（Z軸）	25mm
繰り返し 位置決め精度*	伸縮（R軸）	0.05mm
	旋回（θ軸）
	昇降（Z軸）
耐真空度		1×10-6Pa
可搬質量		1kg（ハンド含む）